Станция для наноиндентирования в СЭМ

Интегрируемая в сканирующие электронные микроскопы система для наноиндентирования позволяет пользователям проводить исследования в области измерения характеристик поверхностей микро- и нанообъектов внутри сканирующего электронного микроскопа.

Система состоит из трехмерной пьезоэлектрической пробоотборной установки и зонда для измерения прикладываемой силы. Методы установки образцов являются гибкими и разнообразными. Благодаря столику с трехмерным перемещением можно добиться точного позиционирования на площади диаметром до 5 мм, разрешение позиционирования – лучше 100 нм, что позволяет точно выровнять измеряемую область с помощью силового датчика.

Силовой датчик также приводится в действие пьезоэлектрическими элементами, его телескопическая длина достигает 100 мкм. Нагрузка от приложенного усилия точно измеряется датчиком усилия, дополнительно возможно измерение натяжения.

Кроме того, существуют различные датчики силы широкого диапазона для повышения точности результатов измерений. Благодаря сочетанию электрического, оптического, нагревательного и других модулей, станция может применяться для исследований взаимодействия в различных областях, включая силовое/тепловое соединение in situ, силовое/оптическое соединение, силовое/электрическое соединение, силовое/тепловое/ориентационное соединение кристалла и т. д.

Основные преимущества:

• Максимальная нагрузка составляет 100 мН (дополнительно 0,1 мН, 1 мН, 10 мН, 100 мН)
• Шум при измерении усилия 5 нН (при максимальной нагрузке 0,1 мН)
• Разрешение измерения усилия лучше, чем 5 нН (при максимальной нагрузке 0,1 мН)
• Может оснащаться блоком проверки тока и напряжения (Максимальный измеряемый ток составляет ± 1,5 А, а минимальный - ± 100 фА, Максимальное выходное напряжение составляет ± 200 В, а минимальное - ± 100 нВ；)
• Возможна комплектация нагревательным блоком (температура нагрева: 600 ℃ (более высокая температура опционально))