Сканирующие электронные микроскопы

Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ, англ. Scanning Electron Microscope, SEM) — это высокотехнологичный прибор, предназначенный для исследования поверхности объектов с ультравысоким разрешением, достигающим субнанометрового уровня (до 0,4 нм). В отличие от оптических микроскопов, СЭМ использует пучок электронов, что позволяет получать не только детализированные изображения топографии поверхности, но и анализировать элементный состав, кристаллическую структуру и другие физико-химические свойства исследуемых образцов.

Благодаря уникальным возможностям визуализации и анализа, сканирующие электронные микроскопы нашли широкое применение в материаловедении, нанотехнологиях, биомедицинских исследованиях, полупроводниковой промышленности и контроле качества продукции.

Отличительные особенности СЭМ

Современные модели СЭМ способны достигать разрешения до 1–2 нм в стандартных рабочих режимах, а в случае применения полевой эмиссии (FE-SEM) — до 0,4 нм. Это открывает возможности для детального структурного и морфологического анализа, включая изучение нанопористых материалов, тонких плёнок и биологических объектов.

Принцип работы сканирующих электронных микроскопов

Работа СЭМ основана на сканировании поверхности образца тонко сфокусированным электронным пучком, который генерируется электронной пушкой (термоэмиссионной или с полевым катодом). При взаимодействии электронов с веществом возникают различные сигналы:

• Вторичные электроны — используются для построения топографического изображения с высокой детализацией.

• Обратно рассеянные электроны — несут информацию о составе материала (атомном номере элементов).

• Рентгеновское излучение — позволяет проводить элементный анализ с помощью энергодисперсионной (ЭДС) или волнодисперсионной спектроскопии (ВДС).

• Катодолюминесценция — используется для изучения оптических свойств полупроводников и люминофоров.

Регистрируемые сигналы обрабатываются специализированными детекторами, а полученные данные преобразуются в цифровое изображение с возможностью количественного анализа.

Модельный ряд сканирующих электронных микроскопов Melytec

• SM-60 - инновационный СЭМ микроскоп с термополевой эмиссией обеспечивает сверхбыстрое сканирование и атомарное разрешение. Автоматизированная система гарантирует точность измерений при максимальной скорости обработки.
• SM-50Х - оснащен пятиосевым моторизованным эвцентрическим столиком, обеспечивающим прецизионное позиционирование образцов. В системе реализован автоэмиссионный катод Шоттки в комплексе со сверхчувствительными детекторами, что обеспечивает получение изображений с максимальной контрастностью. Применение уникальной технологии SuperTunnel в сочетании с тормозящим полем стола и специальным объективом, полностью исключающим магнитную утечку, дает возможность выполнять высокоточные исследования магнитных материалов при пониженных ускоряющих напряжениях.
• SM-50 - оснащен пятиосевым моторизованным столиком (без эвцентричности) и автоэмиссионным катодом Шоттки. Технология SuperTunnel в сочетании с объективом, исключающим магнитную утечку, позволяет проводить исследования магнитных материалов. Простое и интуитивное управление делает микроскоп доступным для специалистов любого уровня квалификации.
• SM-40X - Обеспечивает наноразмерное разрешение для комплексного исследования наноматериалов, дисперсных порошков и тонкопленочных структур. Автоэмиссионный катод Шоттки генерирует стабильный высокоинтенсивный пучок электронов (20-30000 В), позволяющий проводить точный анализ легких элементов. Оптимальное решение для передовых материаловедческих исследований.
• SM-40 - работает в диапазоне ускоряющего напряжения 200-30000 В с током луча до 200 нА. Трехступенчатая линза обеспечивает совместимость с ЭДС/ВДС/ДОЭ. Режимы высокого и низкого вакуума позволяют исследовать любые образцы. Интуитивный интерфейс упрощает работу.
• SM-33 - предназначен для исследований наноматериалов, порошков и тонких пленок. Уникальный внутрилинзовый детектор обеспечивает непревзойденное разрешение на низких напряжениях. Технология SuperTunnel и безлинзовая оптика позволяют анализировать магнитные образцы. Идеальное сочетание цены и возможностей для современных лабораторий.
• SM-32 - отлично подходит для научных и промышленных лабораторий. Разрешение 3 нм, термоэмиссионный катод с опцией двойного анода. Два вакуумных режима (до 1000 Па) для анализа любых образцов без подготовки. Простота использования сочетается с профессиональными возможностями.
• SM-20 - поддерживает образцы до 5 кг с полным доступом в камеру. Высокий ток пучка обеспечивает точный элементный анализ. Интуитивное управление и легкое обслуживание делают его идеальным для образовательных и промышленных применений.

Преимущества сканирующих электронных микроскопов Melytec

Сканирующие электронные микроскопы Melytec представляют собой передовые аналитические системы, сочетающие высокую разрешающую способность с расширенным функционалом для комплексных исследований.

Одним из ключевых преимуществ СЭМ Melytec является их исключительная разрешающая способность, обеспечивающая визуализацию нанометровых структур с беспрецедентной детализацией. Это делает их незаменимыми инструментами в нанотехнологиях и передовых материалах.

Важной особенностью микроскопов Melytec является их мультианалитическая платформа. Интеграция энергодисперсионного спектрометра (ЭДС) позволяет проводить точный элементный анализ, а детектор дифракции отражённых электронов (ДОЭ) даёт возможность изучать кристаллографическую структуру материалов. Такая комбинация методов обеспечивает всестороннюю характеристику образцов.

Особое внимание при разработке микроскопов Melytec уделено эргономике и автоматизации. Интуитивно понятный интерфейс, системы автофокусировки и автоматической настройки параметров значительно упрощают работу оператора. Встроенное программное обеспечение включает продвинутые алгоритмы обработки изображений и анализа данных, что ускоряет проведение исследований.

Надёжность оборудования подтверждена сертификацией в реестре средств измерений РФ. Компания обеспечивает полный цикл технической поддержки, включая гарантийное и постгарантийное обслуживание, что гарантирует долговечность и стабильную работу приборов.

Выбирая СЭМ Melytec, исследователи и производственные предприятия получают доступ к современному оборудованию, обеспечивающему точные и воспроизводимые результаты. Дополнительные опции и аксессуары позволяют адаптировать систему под конкретные задачи, делая её универсальным инструментом для лабораторий различного профиля.