Сканирующий электронный микроскоп SM-60

SM-60 – высокоскоростной полностью автоматизированный термополевой сканирующий электронный микроскоп, предназначенный для высокоскоростного получения изображений с наноразмерным разрешением. 

В приборе использованы следующие технологии:

– электронная пушка с большим током и высокой яркостью; 

– высокоскоростная система отклонения электронного луча; 

– система замедления луча на образце; 

– динамическая оптическая ось и иммерсионный комбинированный, электромагнитный и электростатический, объектив.

Автоматизированный рабочий процесс предназначен для решения задач, требующих эффективного и интеллектуального получения изображений с высоким разрешением на больших площадях. Скорость получения таких изображений более чем в пять раз выше, чем у обычного сканирующего электронного микроскопа с термополевой эмиссией.

Основные преимущества:

• полностью автоматизированная система для съемки изображений высокого разрешения на большой области интереса;
• высокое разрешение (до 1,3 нм) при низких ускоряющих напряжениях;
• скорость сканирования: до 2 × 100 Мпикс/сек;
• поле зрения: 64 × 64 мкм при разрешении 4 нм;
• технология двойного торможения пучка для обеспечения минимальных искажений при работе с низкоэнергетичными электронами;
• специализированное ПО для работы с образцами в области медицины и микроэлектроники.