Стилусные профилометры для анализа структуры и поверхности
Измерительные системы на базе стилусного профилометра обеспечивают анализ структуры и поверхности, включая определение толщины пленки, глубины канавок, высоты ступенек, профиль поверхности и другие схожие комплексные задачи, для задач производства и разработки новых материалов. Области применения: производство полупроводников, солнечная энергетика, светодиоды, оптоэлектроника, биомедицинские устройства, МЭМС, химия тонких пленок, плоские дисплеи, производство сенсорных экранов, задачи материаловедения и т.д.
Основные виды исследований:
1) Высота ступени: возможность точно измерять высоту ступеньки от нанометров и высотой до 160 мкм, а так же точно измерять толщины материалов, нанесенных или удаленных с помощью различных процессов, таких как осаждение и травление.
2) Шероховатость и волнистость: можно измерять шероховатость и плоскостность образца. Путем расчета просканированной кривой микропрофиля поверхности, программное обеспечение системы получает все необходимые параметры, связанные с шероховатостью и волнистостью (Ra, RMS, Rv, Rp, Rz).
3) Деформация и форма: возможность измерения коробления и 2D-формы поверхности образца.
4) Стресс-тест: проверка радиуса кривизны поверхности, например, до и после нанесения покрытия, и расчёт индуцированного напряжения пленки.
5) 3D-сканирование: систему можно настроить на автоматическое сканирование определенной области образца для создания 3D-изображения топографии поверхности.
Преимущества стилусных профилометров, поставляемых Мелитэк
Оборудование от компании "Мелитэк" отличается высокой точностью измерений, достигающей долей нанометра, и минимальным воздействием на исследуемую поверхность. Ключевые преимущества включают:
-
Автоматизацию процессов, что повышает повторяемость результатов и снижает влияние человеческого фактора;
-
Универсальность применения — возможность анализа как твёрдых, так и мягких материалов, включая тонкие плёнки;
-
Расширенный функционал — поддержка 3D-сканирования, стресс-тестов и комплексного анализа деформаций;
-
Надёжность и долговечность благодаря качественным компонентам и сервоприводам.
Полуавтоматический стилусный профилометр JS100 сочетает автоматическое управление с возможностью ручной корректировки параметров. Подходит для лабораторий и производств, где требуется гибкость в настройке измерений. Обеспечивает точное определение шероховатости, высоты ступенек и деформаций, поддерживая работу с широким спектром материалов.
Ручной стилусный профилометр JS10 предназначен для мобильных измерений и оперативного контроля поверхности. Компактный и простой в использовании, этот прибор применяется в условиях, где важна оперативность, но не требуется полная автоматизация. Подходит для исследований в полевых условиях и на небольших производствах.
Области применения
Стилусные профилометры востребованы в микроэлектронике (анализ плёнок, канавок, ступенек), материаловедении (исследование металлов, полимеров, керамики), а также в производстве полупроводников, солнечных панелей и биомедицинских устройств. Они позволяют проводить:
-
Измерение высоты ступеней (от нанометров до 80 мкм).
-
Анализ шероховатости и волнистости (Ra, RMS, Rz и др.).
-
Контроль деформаций и формы поверхности.
-
Стресс-тесты (оценка напряжения плёнок).
-
3D-сканирование для детального изучения топографии.
Благодаря высокой точности и широкому функционалу стилусные профилометры остаются незаменимыми инструментами в науке и промышленности.
ZepTools — это компания, заслужившая доверие и признание благодаря своим инновационным решениям в области настольной сканирующей электронной микроскопии (СЭМ). Наши микроскопы серии ZEM предназначены для обеспечения высокой производительности и получения качественных результатов на исследуемых образцах, что делает их идеальными для самых разнообразных приложений.
Преимущества микроскопов ZepTools
- Простота эксплуатации: микроскопы ZEM разработаны так, чтобы любой желающий мог быстро освоить работу с ними. Интуитивно понятное управление и дружественный интерфейс позволяют сократить время на обучение операторов.
- Инновационные технологии: ZepTools самостоятельно разработала ключевые компоненты своих микроскопов, включая электронно-оптическую систему, детекторы, систему управления, систему сбора сигналов и программное обеспечение. Это позволяет нам обеспечивать высочайший уровень качества и надежности.
- Компактность и удобство установки: в основной блок микроскопа интегрированы вакуумная камера со столиком для установки образцов, турбомолекулярный насос, высоковольтная система и система управления. Благодаря этому наши микроскопы являются компактными и не требуют особых условий для установки, что значительно упрощает их использование в лабораториях и исследовательских центрах.
