Стилусные профилометры для анализа структуры и поверхности
Измерительные системы на базе стилусного профилометра обеспечивают анализ структуры и поверхности, включая определение толщины пленки, глубины канавок, высоты ступенек, профиль поверхности и другие схожие комплексные задачи, для задач производства и разработки новых материалов. Области применения: производство полупроводников, солнечная энергетика, светодиоды, оптоэлектроника, биомедицинские устройства, МЭМС, химия тонких пленок, плоские дисплеи, производство сенсорных экранов, задачи материаловедения и т.д.
Основные виды исследований:
- высота ступени: возможность точно измерять высоту ступеньки от нанометров и высотой до 80 мкм, а так же точно измерять толщины материалов, нанесенных или удаленных с помощью различных процессов, таких как осаждение и травление;
- шероховатость и волнистость: можно измерять шероховатость и плоскостность образца. Путем расчета просканированной кривой микропрофиля поверхности, программное обеспечение системы получает все необходимые параметры, связанные с шероховатостью и волнистостью (Ra, RMS, Rv, Rp, Rz);
- деформация и форма: возможность измерения коробления и 2D-формы поверхности образца;
- стресс-тест: проверка радиуса кривизны поверхности, например, до и после нанесения покрытия, и расчёт индуцированного напряжения пленки;
- 3D-сканирование: систему можно настроить на автоматическое сканирование определенной области образца для создания 3D-изображения топографии поверхности.
ZepTools — это компания, заслужившая доверие и признание благодаря своим инновационным решениям в области настольной сканирующей электронной микроскопии (СЭМ). Наши микроскопы серии ZEM предназначены для обеспечения высокой производительности и получения качественных результатов на исследуемых образцах, что делает их идеальными для самых разнообразных приложений.
Преимущества микроскопов ZepTools
- Простота эксплуатации: микроскопы ZEM разработаны так, чтобы любой желающий мог быстро освоить работу с ними. Интуитивно понятное управление и дружественный интерфейс позволяют сократить время на обучение операторов.
- Инновационные технологии: ZepTools самостоятельно разработала ключевые компоненты своих микроскопов, включая электронно-оптическую систему, детекторы, систему управления, систему сбора сигналов и программное обеспечение. Это позволяет нам обеспечивать высочайший уровень качества и надежности.
- Компактность и удобство установки: в основной блок микроскопа интегрированы вакуумная камера со столиком для установки образцов, турбомолекулярный насос, высоковольтная система и система управления. Благодаря этому наши микроскопы являются компактными и не требуют особых условий для установки, что значительно упрощает их использование в лабораториях и исследовательских центрах.
