+7 (495) 781-07-85
0 Сравнение EN
RU EN
+7 (495) 781-07-85
© ООО Мелитэк, 2025

Ручной стилусный профилометр JS10

Основные характеристики

Тип Ручной
Диаметр образца (пластины), мм 150
Разрешение по оси Z, нм 0,1
Перемещение столика по X-Y, мм 50
Ручной стилусный профилометр JS10 обеспечивает стабильное и надежное измерение повторяемости объектов, находящихся на поверхности образца. Измерения морфологии поверхности осуществляются с помощью алмазного зонда.  Предназначен для  решения задач разработки и совершенствования технологий, контроля качества и производства микроэлектроники.

Основные преимущества:
  • конструктивное решение с двумя камерами гарантирует четкое и неискажённое изображение образца, а также обеспечивает контроль над состоянием зон- да в режиме реального времени в ходе сканирования;
  • стабильность измерительного процесса обеспечивается жёсткой рамой.
Тип Ручной
Диаметр образца (пластины), мм 150
Разрешение по оси Z, нм 0,1
Перемещение столика по X-Y, мм 50
Скорость сканирования, мкм/с 5-50
Максимальная длина сканирования, мм 40
Макс. количество точек сбора данных на одно сканирование 200000
Диапазон усилия зонда, мг 1-15
Максимальный перепад высоты измерения, мкм 80
Макс. вес образца, кг Любой
Типы используемых зондов Стандартный зонд Радиус кривизны острия ≥2 мкм Угол сужения 60°, Субмикронный зонд Радиус кривизны острия ≥1 мкм Угол сужения 60°
Точность удержания плоскости сканирования 20 нм/2 мм
Стилусные профилометры
3.65Mb, .pdf

Записаться в демозал

Приходите к нам в демозал с образцами и лично убедитесь в высоком качестве предлагаемого оборудования.

Запросить online демонстрацию

Мы можем провести для Вас online демонстрацию работы оборудования