В эпоху цифровых технологий микроэлектронные компоненты стали неотъемлемой частью повседневной жизни. Их производство требует высочайшей точности и надежных систем контроля качества. Компания Sunny Optical разрабатывает специализированное оборудование для проверки полупроводниковых пластин, обеспечивающее точность, автоматизацию и интеграцию с современными производственными системами.
Высокоточные микроскопы MX для лабораторных исследований
Серия микроскопов MX от Sunny Optical предназначена для детального анализа полупроводниковых пластин и микроэлектронных компонентов. Устройства поддерживают несколько методов контрастирования, включая яркое и темное поле (BF/DF), поляризационный контраст (PO) и дифференциально-интерференционный контраст (DIC), что позволяет выявлять мельчайшие дефекты структуры. Максимальное увеличение 1000х и возможность выбора размера предметного стола делают эти микроскопы универсальным инструментом для лабораторий и исследовательских центров.
Микроскопы серии MX.
Пример использования микроскопов серии MX:
Автоматизированные системы AWL и OWL для промышленного контроля
Для производственных линий Sunny Optical предлагает два типа решений: полуавтоматическую систему AWL и полностью автоматизированную OWL.
Система AWL сочетает в себе высокую точность измерений и частичную автоматизацию процессов. Вакуумный захват исключает повреждение пластин, а встроенное ПО с функцией распознавания контрольных точек обеспечивает корректное позиционирование образцов. Моторизованные компоненты и поддержка различных методов контрастирования позволяют эффективно обрабатывать большие партии продукции.
Система AWL:
Система AWL в процессе работы, распознавание типа пластин:
OWL – это полностью автономная система, оснащенная автоматическим загрузчиком, интеграцией с промышленными системами управления (EAP/MES) и алгоритмами ИИ для классификации дефектов. Закрытая конструкция предотвращает вмешательство оператора, а расширенные функции анализа данных, включая генерацию карт разбраковки и экспорт отчетов в форматах Klarf и ESC, делают OWL идеальным решением для современных микроэлектронных производств.
Система OWL:
OWL в работе, обнаружение дефектов:
Благодаря разнообразию решений Sunny Optical обеспечивает контроль качества на всех этапах – от лабораторных исследований до массового выпуска полупроводниковых компонентов.
Подробнее об инспекционных микроскопах
