Зондовая станция для СЭМ

Зондовая станция позволяет осуществлять точное позиционирование выдвижных зондов в трехмерном пространстве, обеспечивая механический контакт. Система обладает компактными размерами, большим диапазоном хода зондов, простым управлением и может использоваться в условиях вакуума. Подходит для вакуумных камер практически всех напольных СЭМ и служит для выполнения различных операций перемещения и позиционирования с наноточностью.

Зонды в SEM Nano Probe Station приводятся в действие пьезоэлектрической керамикой, не требуют смазки для работы и могут работать в широком диапазоне температур. Двухэтапный режим пошагового управления и сканирования позволяет производить позиционирование зондов с нанометровой точностью, обеспечивая превосходный результат.

Трехосная зондирующая станция состоит из комбинации трех одноосных механизмов. В камере СЭМ может быть установлено несколько трехосных зондовых станций. Электрические зонды, волоконно-оптические зонды, нанопинцеты, алмазные головки для наноструктурного вдавливания, микрошприцы и другие манипуляционные и измерительные головки могут быть установлены на плоской поверхности для проведения микро- и наноманипуляций и измерений.

Основные преимущества:

• Пьезоэлектрические керамические выдвижные зондовые платформы имеют длительный срок службы
• Зондовая станция подходит для большинства моделей напольных СЭМ
• Диапазон перемещения зонда: ±10 мм в направлении XYZ;
• Точность позиционирования (разрешение): 0,5 нм в направлении XYZ.