Использование различных детекторов для визуализации поверхности в настольном СЭМ ZEM18 от компании Zeptools

В электронной микроскопии используются различные детекторы для визуализации поверхности образца.

Основными детекторами являются:

• детектор вторичных электронов (SE), позволяющий получить изображение в высоком разрешении и лучше исследовать морфологию объекта;
• детектор обратно-рассеянных электронов (BSE), визуализирующий так называемый «Z-контраст» или «материальный контраст», где контраст изображения сильно зависит от атомарного номера материала поверхности, преобладающего в различных областях изображения;
• энергодисперсионный спектрометр (ЭДС), служит для прецизионного определения элементного состава поверхности, как в точке, так и по площади.

Для проведения исследования слоев, перед помещением в электронный микроскоп, образец требуется подготовить по определенной методике. Для данного исследования, от образца была отделена небольшая часть, залита в эпоксидную смолу, а затем поверхность образца была отполирована и помещена в травитель, чтобы лучше раскрыть границы. Также, после травления, на поверхность была нанесена проводящая углеродная пленка посредством термического напыления.

В результате, у нас получилось визуализировать поверхность образца, получить изображения слоев с использованием различных детекторов и комбинаций детекторов настольного СЭМ ZEM18. При помощи встроенной функции проведения линейных измерений, толщины слоев были измерены, а сами слои были проанализированы с помощью детектора EDS для определения точного элементного состава.

Рис. 1 Изображение слоев, детектор вторичных электронов (SE).
Рис. 2 Изображение слоев, детектор обратно-рассеянных электронов (ВSE).
Рис. 3 Изображение слоев, микс детекторов 50% SE и 50% BSE.
Рис. 4 Увеличенное изображение соединения слоев.
Рис. 5 Изображение поверхности основного материала образца.

Подробнее о СЭМ ZEM здесь.