Новые характеристики ускорителя и разрешения
Теперь ускоряющее напряжение доступно в диапазоне от 0,2 до 30 кВ, а максимальный ток пучка составляет 3 мкА. Разрешение прибора составляет 3 нм при 30 кВ, 7 нм при 3 кВ во вторичных электронах и 4 нм при 30 кв в обратно-отраженных.
Расширенные возможности и вакуум
Значительно расширены функциональные возможности прибора благодаря режиму низкого вакуума с диапазоном давления от 5 до 1000 Па.
Увеличенная камера и предметный столик
Камера стала больше и составляет теперь внушительные 340х274х295мм (ШхВхГ). Предметный столик имеет трехосевую моторизацию со свободой перемещения по X/Y/Z 125/125/50 мм соответственно.
Размеры образцов и опции
Максимальные размеры образца увеличены до 270 мм в диаметре, а вес до 5 кг. В качестве опции теперь доступен вакуумный шлюз для быстрой смены образцов шириной 50 мм.
