Напольная система Melytec EBL-100 представляет собой высокопроизводительное высокоточное решение для прямой электронно-лучевой литографии (EBL).
Ключевые особенности:
-
термополевой источник электронов высокой яркости типа Шоттки;
-
ускоряющее напряжение 100 кВ;
-
частота сканирования: 100 МГц;
-
лазерная интерферометрическая система измерения расстояния;
-
система лазерной автофокусировки;
-
10-слотовая кассета для работы с 6-дюймовыми пластинами (опционально 8");
-
интуитивно понятное и простое в использовании интерактивное программное обеспечение.
Подробнее о спектрометре о системах для литографии Melytec .
