Измерительные системы на базе стилусного профилометра от компании ZEPTOOLS, обеспечивают анализ структуры и поверхности, включая определение толщины пленки, глубины канавок, высоты ступенек, профиль поверхности и другие схожие комплексные задачи, для задач производства и разработки новых материалов. Области применения: производство полупроводников, солнечная энергетика, светодиоды, оптоэлектроника, биомедицинские устройства, МЭМС, химия тонких пленок, плоские дисплеи, производство сенсорных экранов, задачи материаловедения и т.д.
Интерфейс программы.
Основные виды исследований:
- высота ступени: возможность точно измерять высоту ступеньки от нанометров и высотой до 80 мкм, а также точно измерять толщины материалов, нанесенных или удаленных с помощью различных процессов, таких как осаждение и травление;
- шероховатость и волнистость: можно измерять шероховатость и плоскостность образца. Путем расчета просканированной кривой микро профиля поверхности, программное обеспечение системы получает все необходимые параметры, связанные с шероховатостью и волнистостью (Ra, RMS, Rv, Rp, Rz);
- деформация и форма: возможность измерения коробления и 2D-формы поверхности образца;
- стресс-тест: проверка радиуса кривизны поверхности, например, до и после нанесения покрытия, и расчёт индуцированного напряжения пленки;
- 3D-сканирование: систему можно настроить на автоматическое сканирование определенной области образца для создания 3D-изображения топографии поверхности.
