Напылительная система SD650MHT от компании VPI для послойного напыления тонких плёнок

Компания VPI представила новую высоковакуумную систему напыления SD650MHT. Прибор предназначен для магнетронного напыления тонких плёнок слабомагнитных металлов и диэлектриков, таких как Pd, Ir, W, Cr, Cu, Al, Si, C и т.д. Отличительной особенностью системы является сдвоенная магнетронная головка, позволяющая одновременно устанавливать сразу две мишени с разным материалом. Это даёт возможность проводить как совместное, так и послойное высококачественное напыление тонких плёнок без необходимости напуска воздуха или инертного газа в вакуумную камеру.

Подробнее о системах напыления VPI здесь.