Новый вариант системы, MELYTEC CT30 в исполнении Ultra, открывает совершенно новые высоты возможностей для получения томографических изображений ультравысокого разрешения. Компьютерная томография с ее применением – это метод неразрушающего контроля и получения внутренней трехмерной структуры с недоступным ранее истинным разрешением до 150 нм.
В основе системы используется ультра нанофокусный источник рентгеновского излучения с трубкой открытого типа. Источник излучения способен генерировать в диапазоне ускоряющих напряжений от 40 до 160 кВ и оснащен мишенью прострельного типа, изготовленной из алмаза с вольфрамовым активным слоем. Для эмиссии электронов используется долгоживущий катод из гексаборида лантана (LaB6). Он обеспечивает более высокую яркость пучка электронов при меньшей температуре нагрева, что позволяет получить более сфокусированный и яркий электронный пучок. Срок службы катодов LaB6 в 10 раз дольше, чем у вольфрамовых, при этом они обеспечивают в 50 раз большую яркость. Это напрямую влияет на качество изображения: более яркий и сфокусированный пучок обеспечивает лучшее разрешение и более четкие изображения.
Для контроля ключевого параметра – размера и положения фокусного пятна – источник оснащен системой внутреннего измерения, связанной с системой автоматической фокусировки. Это позволяет получать идеально круглое пятно, что наглядно демонстрируется на высокосимметричных изображениях тестового объекта «звезда Сименса» (см. Рисунок 1). На изображении показано, что система уверенно разрешает внутренние элементы размером 150 нм. Благодаря усовершенствованной системе управления электронным пучком и интегрированному терморегулированию достигается превосходная долговременная стабильность источника. График на Рисунке 2 иллюстрирует минимальное движение пятна относительно фиксированной точки на мишени в течение 8 часов.
Мощь источника раскрывается в полной мере благодаря применению специализированного передового детектора, использующего технологию считывания изображений CMOS. Этот детектор предназначен для работы в широком диапазоне энергий (вплоть до 225 кВ) и обеспечивает более высокое качество изображения с низкой дозой облучения по сравнению с традиционными плоскими панелями. Комбинация самого маленького для плоскопанельного детектора пикселя (49,5 мкм) и специального сцинтиллятора позволяет достичь наилучшей функции передачи модуляции (MTF), что критически важно для задач, требующих максимальной чувствительности и разрешения.
Для точного позиционирования объектов в рентгеновском пучке применен улучшенный манипулятор для микрообразцов, обладающий 8 степенями свободы и прецизионной точностью. Система с этим манипулятором пригодна для работы с образцами размерами от десятых долей до 25 миллиметров.
Синергия прецизионных компонентов для безупречного качества изображения
Синергия трех ключевых компонентов – особой трубки, детектора и манипулятора – позволяет достигать самых высоких реальных разрешений, недоступных для других систем томографии. Практическая реализация возможностей системы демонстрируется на примере компьютерной томографии паянного соединения, где детализация на уровне 150 нм позволяет проводить анализ нового уровня качества (см. Рисунки 3, 4, 5). Томография с субмикронным разрешением, которая еще вчера казалась фантастикой, теперь является реальностью.Рисунок 1
Рисунок 2
Рисунок 3
Рисунок 4
Рисунок 5
Подробнее о томографах Sanying
