Полиимид признан высокоэффективным полимером для электроники и аэрокосмической отрасли благодаря исключительной термостойкости и механической прочности. Однако создание контролируемых ультратонких пленок в лаборатории осложняется газовыделением, термической чувствительностью материала и его диэлектрическими свойствами. Традиционные мокрые методы не обеспечивают точного контроля на нанометровом уровне, а плазменная полимеризация страдает от недостаточной воспроизводимости. Альтернативой выступает метод магнетронного напыления, который характеризуется высокой стабильностью процесса, возможностью точного регулирования толщины и получения однородных покрытий.
Реализация стабильного процесса напыления полиимида на системе SD-650MH
Ключевым для работы с термочувствительным полиимидом является контроль тепловой нагрузки. Комплектация SD-650MH водяным охлаждением катода предотвращает плавление и обугливание мишени даже при низкой мощности. Важной особенностью системы является способность к генерации плазмы при мощности всего 1 Вт, что минимизирует бомбардировку мишени. Кольцевая магнитная система концентрирует плазму, защищая подложки от нагрева, что критично для гибкой электроники. Для управления газовыделением применяется ступенчатый режим работы, позволяющий вакуумной системе компенсировать рост давления. Поскольку полиимид — диэлектрик, использование радиочастотного источника питания в SD-650MH нейтрализует заряд на мишени, обеспечивая стабильность плазмы. Таким образом, комбинация водяного охлаждения, ступенчатого режима и RF-напыления делает систему решением для воспроизводимого получения полиимидных пленок.
Подробнее о системах напыления VPI
