MEMS нагревательная/электрическая измерительная система

Система предназначена для измерения температуры / электрических характеристик образцов для нужд микроэлектроники. Представляет собой микросхему с микронагревателем и измерительным модулем, установленные в стандартном держателе для ПЭМ. Микронагревающий чип может нагревать образец до контролируемой температуры, а электрический измерительный чип может измерять электрические свойства образца. При выполнении измерений нагрева и электрических свойств, кристаллическая структура, химические компоненты и валентные состояния элементов образца могут быть динамически и всесторонне охарактеризованы с высоким разрешением, что значительно расширяет функции и область применения просвечивающей электронной микроскопии.

Электрические характеристики:

• Содержит блок измерения тока и напряжения;
• Выходное напряжение Z велико ±200 В, Z мало ±100 нВ;
• Измерение тока Z велико ± 1,5 А, Z мало 100 фА;
• Режим постоянного напряжения или тока;
• Автоматическое измерение тока-напряжения (I-V) и текущего времени (I-t) автоматически сохраняются.

Параметры нагрева и контроля температуры:

• Диапазон регулирования температуры: от комнатной температуры до 1200 ℃;
• Мощность нагрева: Z максимум 30 Вт;
• Стабильность контроля температуры лучше, чем ± 0,1 ℃;
• Максимальная скорость нагрева: 1000 ℃/Мс.

Основные преимущества

• Совместимость с моделями электронных микроскопов разных производителей;
• Опциональная версия с большим наклоном
• Дополнительная версия с двойным наклоном, угол наклона β ± 25 °