Система измерения механики высоких температур

Система высокотемпературного механического измерения с помощью просвечивающего электронного микроскопа, интегрирующая модуль механического измерения и модуль микросхемы MEMS, может выполнять количественные механические измерения при нагревании образца до температуры 1000 ℃. В модуле MEMS микросхемы доступны на выбор нагревательный чип и электрический измерительный чип. Для модуля механических измерений доступны датчики с различными нагрузками для проведения различных экспериментов.

Этот уникальный модуль позволяет проводить количественные исследования высокотемпературной механики с высоким разрешением в просвечивающей электронной микроскопии.

Характеристики：

• Совместимость с различными моделями электронных микроскопов；
• Некоторые модели электронной микроскопии могут оснащаться версией с двойным наклоном

Характеристики механического датчика：

• Максимальная нагрузка составляет 100 мН (дополнительно 0,1 мН, 1 мН, 10 мН, 100 мН)
• Измеренный шум при измерении усилия до 5 нН (при максимальной нагрузке 0,1 мН).；
• Разрешение измерения усилия лучше, чем 5 нН (при максимальной нагрузке 0,1 мН).；

Характеристики нагрева：

• Диапазон регулирования температуры: от комнатной температуры до 1000 ℃；
• Стабильность температуры: лучше, чем ± 0,1 ℃.

Характеристики зонда：

• Диапазон грубой регулировки: 1,5 мм в направлении X и 2 мм в направлении YZ;
• Диапазон точной регулировки: 20 мкм в направлении XY и 10 мкм в направлении Z;
• Разрешение точной регулировки: 0,4 нм в направлении XY и 0,2 нм в направлении Z.

Основные преимущества

• Совместимость с моделями электронных микроскопов разных производителей
• Уникальный модуль позволяет проводить количественные исследования высокотемпературной механики с высоким разрешением в просвечивающей электронной микроскопии